将本站设为首页
收藏六一官网,记住:www.6186618.com
账号:
密码:

六一书屋:看啥都有、更新最快

六一书屋:www.6186618.com

如果你觉得好,恳请收藏

您当前的位置:六一书屋 -> 发薪就能变强,我有十亿员工! -> 第610章 国产光刻机的研发进程,至少缩短了十年!

第610章 国产光刻机的研发进程,至少缩短了十年!

温馨提示:如果本章属于内容错误等情况,请点击下面的按钮发送报告,我们会在一分钟内纠正,谢谢

  自从星源科技与华科协会下属的光电所,联手研发出了‘磁约束放电等离子体光源’(即MDP)技术后,便开始着手攻克光刻机的第二大技术壁垒——光学系统。

毕竟,单是‘造出光’还不行,还得‘用好这束光’,才能完成晶圆曝光,进而实现芯片的生产制造。

可让陈延森顿感无奈的是,国内EUV光源激发方式的主流研发方向,基本以激光产生等离子体、放电等离子体或者激光诱导放电等离子体为主。

而星源科技光学部绝大多数工程师的技能和项目经验,都与研发需求不匹配。

所以在研发配套光学系统时,进度极为缓慢。

要知道,EUV光几乎会被所有物质吸收,因此无法使用传统的玻璃透镜,整个光路必须在真空环境中使用反射式光学系统。

收集镜、照明系统、投影物镜系统、掩膜版和掩膜台都得设计配套的技术方案。

MDP-EUV光源技术确实走出了一条独特的新路,但这种创新并非没有代价。

一切障碍,都要自己去扫平。

陈延森在获悉光学部的研发进度后,立马就绝望了。

他心里清楚,若不给这帮人指条明路,恐怕五年、十年,都没法往前迈出一步。

不得不说,他高估了林南团队的水平。

他没想到,这么简单的配套技术方案,林南等人却在正确的路口边缘,足足蹭了四五十天,却无丝毫进展。

于是,陈延森在开发出脉思(Mass)V1.0后,又马不停蹄地设计出了“多壳层掠入射椭圆收集镜系统”。

这玩意本质上是一套精密的多层膜镜子,可以高效捕获EUV光源,并将其初步聚焦引导至照明系统里。

难点主要有两个:收集效率和抗损伤能力。

前者是因为EUV光线是向四面八方发散的,若想提升收集效率,就得设计复杂的多镜拼接结构,同时保证每片镜子的角度校准精度都要达到微米级。

然而,任何角度上的偏差都会导致光线漏失,从而影响到收集效率。

后者是因为等离子光源被激发后,会产生极高的温度,这就需要超强的抗损伤能力。

收集效率要求多层膜具备“薄、匀、纯、无遮挡”等特性,以最大化反射率和角度适配性。

而抗损伤能力要求多层膜又得“厚、硬、耐侵蚀”,必须增加额外保护层的材料。

听起来很矛盾,但


  本章未完,请点击下一页继续阅读!
上一页 12345下一页

看了《发薪就能变强,我有十亿员工!》的书友还喜欢看

矜娇厌厌
作者:不吃胡萝卜的兔老大
简介: 她是秦江珩娇养的花,消失三年后再见,本该人生有路各分东西,可却被他强搂进怀里。
更新时间:2026-03-04 21:13:54
最新章节:第95章 摩天轮
天才小师姐她偏要当废物
作者:狗肠
简介: 【有cp,男主烬渊】白琳发现自己竟然是宗门团宠小师妹的对照组。

...
更新时间:2026-03-04 21:11:25
最新章节:云灵界番外24:我道侣不爱我了
怨我五年无所出,嫁你叔父我生一窝
作者:凯蒂
简介: 【先婚后爱+打脸虐渣+双洁+年上+甜宠+追妻火葬场】

除夕...
更新时间:2026-03-04 11:46:34
最新章节:端阳宴
王府里来了个捡破烂的崽崽
作者:三颗小石头
简介: 宁王妃带回了一个爱捡破烂的幼崽,自从她进了王府,王府从此一飞冲天:祖母的眼睛能看清楚...
更新时间:2026-03-04 21:13:00
最新章节:第一卷 第556章 不够
狱医
作者:破空
简介: 三年前,他为女友怒而伤人,因故意伤人锒铛入狱。三年后归来,家遇变故,大哥大嫂车祸罹难...
更新时间:2026-03-04 20:40:47
最新章节:第1493章 他真是自己父亲吗?
屠狗之辈
作者:关中老人
简介: 仗义每多屠狗辈,无情多是读书人。这是一个叫赵山河的小人物从小镇走向世界的故事……
更新时间:2026-03-04 21:36:48
最新章节:第681章 思念最伤人